1985年浙江大学材料系获学士学位，1991年浙江大学硅材料国家重点实验室获半导体材料工学博士学位，1993年浙江大学材料科学与工程博士后流动站出站，其间在日本东北大学金属材料研究所访问研究。1993年在浙江大学晋升副教授，1995年初赴德国FREIBERG工业大学工作，1997年5月被浙江大学特批晋升教授，1998年初回国在硅材料国家重点实验室（半导体材料研究所）工作，任副主任，博士生导师。2007年任半导体材料研究所所长，2009年任硅材料国家重点实验室主任。
教育部长江奖励计划特聘教授，国家杰出青年基金获得者，“新世纪百千万人才工程”国家级人选者，浙江省特级专家。国务院学位委员会学科评议组（材料）成员，国家重大科技专项（02）专项总体专家组成员，科技部“国家重点基础研究发展计划专项”（973）首席科学家。
长期从事半导体硅材料的研究，包括超大规模集成电路用硅材料，太阳能光伏硅材料、硅基光电子材料和纳米硅半导体材料。负责（曾负责）国家973、863、国家自然科学基金重点、科技部、教育部和浙江省的重大、重点科技项目等科技项目，在硅材料的基础研究上取得重大成果，生产实际中也产生重大经济效益。